产品特点

◆  7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动监测工艺参数状态，20 个配方程序，可存储、输出、追溯工艺数据。

◆  PLC 工控机控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。

◆  采用质量流量计，  气体流量控制更准确。标配双路气体输送系统，   可选多气路气体输送系统。可输入氧气、氩气、氮气、 四氟化碳、氢气或混合气体等气体。

◆  采用多孔道进气方式，改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。

◆  HEPA 高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染。

◆  316 不锈钢真空舱，洁净无污染。

◆  全真空管路系统采用 316 不锈钢材质。