CIF中试生产型等离子清洗机CPC15/35/80/120/150

    CIF 推出的中试生产型等离子清洗机是为研发型客户和工业级客 户而设计的等离子体表面处理设备。

    更新时间:2024-04-18 14:45:18
  1. 详细信息


产品特点

◆  7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动监测工艺参数状态,20 个配方程序,可存储、输出、追溯工艺数据。

◆  PLC 工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。

  采用质量流量计,  气体流量控制更准确。标配双路气体输送系统,   可选多气路气体输送系统。可输入氧气、氩气、氮气、 四氟化碳、氢气或混合气体等气体。

◆  采用多孔道进气方式,改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。

◆  HEPA 高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。

◆  316 不锈钢真空舱,洁净无污染。

◆  全真空管路系统采用 316 不锈钢材质。

◆  处理高效均匀,效率高,工艺重复性好。

◆  合理的结构设计,设备占用空间小。

◆  可处理各种材质、形状、尺寸样品。

◆  样品处理温度低,无热损伤和热氧化。

◆  使用成本低、耗损小。

◆  产品性能稳定,安装维护,简单方便。

◆  安全保护,舱门打开,自动关闭电源。

◆  机器运行、停止提示。


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 技术参数

型号

CPC15

CPC35

CPC80

CPC120

CPC150

舱体尺寸

W240xH240

xD260mm

W320xH320

xD350mm

W420xH400

xD500mm

W500xH500

xD450mm

W500xH500

xD600mm

舱体容积

15L

35L

80L

120L

150L

舱体材质

不锈钢

不锈钢

不锈钢

不锈钢

不锈钢

有效尺寸

W240xD230mm

W320xD323mm

W420xD468mm

W500xxD420mm

W500xxD565mm

电极分布

2 层

3-4 层

6 层

8-10 层

10-15 层

射频电源

13.56MHz

13.56MHz

13.56MHz

13.56MHz

13.56MHz

射频功率

0-300W

0-300W

0-600W

0-1000W

0-1000W

匹配器

自动匹配器

激发方式

电容式

电流

1.2A

时间设定

9999 秒

气体稳定 时间

1 分钟

真空度

100pa 以内

控制系统

7 寸 PLC 触摸屏控制

工艺气体

2 气路 MFC  (可选装 3 路)

产品尺寸

L625xW600

xH760mm

L625xW600

xH805mm

L905xW845

xH1940mm

L625xW600

xH760mm

L905xW845

xH2010mm

包装尺寸

L740xW775

xH1000mm

L740xW775

xH1045mm

L1015xW1065 xH2050mm

L1015xW1065 xH2120mm

L1015xW1065 xH2120mm

真空泵

抽速约 8m³/h

抽速 16m³/h

抽速 40m³/h

抽速 60m³/h

抽速约 60m³/h

电源

AC220V

50/60Hz 552W

AC220V

50/60Hz 552W

AC380V

50/60Hz 902W

AC380V

50/60Hz 1302W

AC380V

50/60Hz 1302W

整机重量

108kg

135kg

465kg

485kg

575kg