CIF实验室型等离子清洗机CPC-F系列

    CIF 推出的新一代科研型等离子清洗设备,合理的结构设计,优化的腔体尺寸,使得处理样品更大,适用范围更广。

    更新时间:2025-09-04 09:46:39
  1. 详细信息

应用领域:
等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、线 路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域,主要用 于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。

 产品特点

◆  7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动控制监测工艺参数状态,20 个配方程序,工艺数据可存储追溯。

◆  PLC 控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。

◆  用美国德威尔(Dwyer)气体浮子流量计或质量流量计  (CPC-FM),可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体,气体控制准确。

◆  气体返填吹扫,HEPA 高效过滤,防止二次污染。

◆  316 不锈钢、石英真空舱可选择,全真空管路系统采用316 不锈钢材质,耐腐蚀无污染。

◆  采用 60 度倾角操作面板设计,符合人体功能学,操作方 便,界面友好。

◆  上控制下舱体结构设计,结构紧凑,占地空间小。

◆  内凹式前面板设计,有效保护流量计和舱门不易损坏。

◆  处理快速高效均匀,无污染,工艺重复性好。

◆  样品处理温度低,无热损伤和热氧化。

◆  安全保护,舱门打开,自动关闭电源。