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RIE反应离子刻蚀机
CIF RIE反应离子刻蚀机基于反应离子刻蚀技术，通过离子物理轰击与活性自由基化学反应的协同作用，实现对材料表面各向异性的高精度微结构加工。该设备兼具高刻蚀速率.....

产品型号：RIE200/200plus更新日期：2024-03-18

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