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产品参数
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产品特点
智能控制与人性化操作
u 配备7英寸彩色触摸屏，支持中英文双语界面，交互直观。
u 内置PLC工控系统，支持手动/自动两种工作模式，全过程自动化控制。
u 具备20组可存储的工艺配方，支持工艺数据存储、输出与全程追溯，实现智能化生产管理。
精密工艺与气体控制系统
u 智能真空双控制模式：系统可通过调节气体流量或腔体压力两种模式精准控制真空压力，工艺调控灵活智能。
u 精准气体配送：采用质量流量计，气体控制精度高。标配双路气体系统，可选配多路气路，支持氧气、氩气、氮气、四氟化碳、氢气等多种工艺气体。
u 均匀进气设计：采用多孔道进气方式，有效改善传统单孔进气不均的问题，确保处理效果均匀一致。
u 洁净保障：配备HEPA高效过滤器，结合气体返填吹扫功能，有效防止二次污染。
可靠结构与广泛适应性
u 真空腔室及全管路系统均采用316不锈钢材质，洁净耐腐蚀，确保工艺纯净度。
u 结构设计紧凑合理，占地面积小，节省空间。
u 可处理各种材质、形状与尺寸的样品，适用性广。
u 样品处理全程低温，避免热损伤与热氧化现象。
稳定高效与经济节能
u 处理效率高，工艺重复性与一致性好，保障量产稳定性。
u 整机运行稳定，使用成本低，维护简便，损耗小。
周全的安全防护
u 配备多重安全机制：舱门开启即自动断电，并具备可控泄压等功能。
u 设有运行/停止状态提示，保障人员操作与样品安全。
2024-07-26 
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